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相關(guān)文章致茂Chroma 7505-1 多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng) 一機(jī)具備1D、2D、3D量測(cè)能力 具備膜厚量測(cè)功能(1D),使用穿透反射式量測(cè),可進(jìn)行非破壞式膜厚量測(cè) 使用高解析度線型掃瞄相機(jī),可進(jìn)行高速2D瑕疵量測(cè),可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵 使用白光干涉量測(cè)技術(shù),可進(jìn)行3D三維形貌量測(cè) 搭載電動(dòng)式鼻輪,可同時(shí)掛載多種物鏡并可程式控制切換使用 具備暗點(diǎn)以及邊界錯(cuò)誤問(wèn)題修正演算法
致茂Chroma7505半導(dǎo)體*封裝光學(xué)測(cè)量系統(tǒng) 整合白光干涉量測(cè)技術(shù),進(jìn)行非破壞性的光學(xué)尺寸量測(cè)。 可進(jìn)行待測(cè)物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測(cè)需求 垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用,大量測(cè)尺寸達(dá)12吋晶圓 待測(cè)物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測(cè)與分析
致茂Chroma 7925TO-CAN 封裝外觀檢測(cè)系統(tǒng) 可檢測(cè)TO-CAN 封裝金屬外蓋與透鏡之刮傷、破裂、異物及膠合不良等缺陷 具備自動(dòng)對(duì)焦功能,可克服載盤(pán)制造公差內(nèi)的高度差異 檢測(cè)完成后可依設(shè)定規(guī)格挑揀不良品 提供比人工目檢更佳的可靠度及重復(fù)性 每小時(shí)蕞高可檢測(cè)3600顆待測(cè)物 自動(dòng)化上下料盤(pán),減少人員上下料時(shí)間 提供完整的檢測(cè)資料,包含檢測(cè)數(shù)據(jù)及缺陷影像以供工程分析
致茂Chroma 58603 TO-CAN/CoC 燒機(jī)測(cè)試系統(tǒng) 可提供燒機(jī)測(cè)試、信賴性測(cè)試與壽命測(cè)試 每個(gè)系統(tǒng)可提供高達(dá)10 個(gè)模組測(cè)試 支援 自動(dòng)電流控制模式(ACC) 與 自動(dòng)功率控制模式(APC) 個(gè)別通道 (Channel) 驅(qū)動(dòng)與量測(cè) 每個(gè)通道可供應(yīng)500 mA 以上的電流 達(dá)120℃ 的精確溫度控制 個(gè)別模組(module) 獨(dú)立操作
致茂58604雷射二極體燒機(jī)及可靠性測(cè)試系統(tǒng) 可提供燒機(jī)測(cè)試,信賴性測(cè)試與老化測(cè)試 支持自動(dòng)電流控制模式(ACC)與自動(dòng)功率控制模式(APC) 個(gè)別通道(Channel)驅(qū)動(dòng)與量測(cè) 每個(gè)通道可供應(yīng)達(dá)500mA的電流 達(dá)125℃ 的精確溫度控制 個(gè)別模組(module)獨(dú)立操作